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切割后清洗機-2-3槽

切割后清洗機-2-3槽

  • 所屬分類:晶圓制造
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  • 發布時間:2022-11-27 12:15:31
  • 產品概述

1、規格


晶圓尺寸

~12英寸

HEPA或ULPA

內置過濾器

機器人

伺服電機

化學槽

超聲波清洗,拋動

沖洗槽

鼓泡、快排、電阻率計安裝




2、工程案例工藝

洗劑超聲清洗 → QDR → DI水超聲清洗

標簽

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